第279章 90纳米与65纳米制程工艺（2 / 3）

见此，陆院长便介绍起了最后一位院士：

“接下来要介绍的是郭灵院士，郭灵院士是少数能拿到物理与数学两次院士头衔的院士。

这次郭灵院士负责的是光刻机的数学以及物理方面的工作。”

闻言，现场的记者与嘉宾们自然是点头用热烈的掌声回应这一切。

此时现场不少嘉宾以及记者看到这研发队伍强大的一幕，纷纷感慨这次光刻机真的有很大的可能，毕竟这次研发队伍真的很强大啊。

金属材料有卢科院士、数学与物理方面有郭灵院士、光学玻璃方面有顾安院士。

光刻机负责人方面又有光刻机之父徐端顾教授，然后加上全能奇才林晨与数百个研究生、博士、博士后……

最后资金方面又有了30亿随便用，面对此情此景，现场的记者们已经感觉这第5代浸没式光刻机似乎已经十拿九稳了。

当然，虽然知道了研发团队的相关名单与大致资料，但还有一个重要问题记者们可不知道。

只见此时一个洋人记者缓缓举起了手，看他话筒上的商标，那赫然是环求日报的记者。

“这位记者先生请问吧。”

此时陆院长温和的对那环求日报的记者说了一句。

见此，那环求日报的记者缓缓放下了手，然后目光灼灼的盯着陆院长发问道：

“陆院长你好，请问你们的第5代浸没式光刻机什么时候能研发完成呢？有一个大致的时间吗？”

面对那环求日报记者的问话，陆院长看了一眼林晨，在得到林晨的轻轻点头后缓缓回答道：

“研发完成主要分为两个步骤，如同我之前所提到的90纳米与60纳米两个制程工艺。

首先最先推出的应该是90纳米制程工艺级别的第5代浸没式光刻机，这第5代浸没式光刻机预计落地时间是在2004年结束之前。

至于65纳米制程工艺方面，我们预计推出的时间是2005年结束之前。

也就是说我们是计划用一年时间达到90纳米，然后用两年时间将光刻机推进到65纳米的层次。”