第356章 制造纳米材料的化学沉积机（2 / 3）

就是因为当时没有条件制作沉积机台。

但他以前自己接到过一些订单，dIY过沉积机。

不论是物理的还是化学的，比市面上便宜很多而且功能也实用得多。

现在要制取超微粒子需要满足以下四个最基本的需求。

一整套系统把传输和控制先驱体气体、载气和稀释气体进入反应室。

然后提供激发化学反应的能量源。

接着排除和安全处理反应室的副产物废气，精确控制反应参数，温度、压力和气体流量……。

所以要是制作沉积机台就等于要制作一整套沉积系统，包括化学气相沉积机台、压缩干燥空气设备……空气真空装置等等。

化学气相沉积设备根据cVd反应器的特性，其装置分为开口体系和密闭体系两大类。

叶回舟当时dIY几套开口式和密闭式沉积机台赚了不少钱。

密闭式，这种反应方式是将一定量的反应物质和气体放置于反应器的两边，将反应器中抽成真空，再向其中注入部分输运气体。

然后再次密封，再控制反应器两端的温度使其有一定差别。

它的优点是：能有效够避免外部污染，无须持续抽气就能使内部保持真空。

缺点就是材料产生速度慢，管中的压力不容易掌握。

他就只做了一套卖给大胖的土豪，还卖得贼贵。

而开罐法，这种制备方法的特点是反应气体混合物能够随时补充。

废气也可以及时排出反应装置。

以加热方法为区分，开管气流法应分为热壁和冷壁两种。

前者的加热会让整个沉积室壁都会因此变热，所以管壁上同样会发生沉积。

只有机体自身会被加热，也就没有上述缺点。

冷壁式加热一般会使用感应加热、通电加热以及红外加热等等。