第279章 出光了！（1 / 2）

“帕特吉尔森格先生，你对我们这边的晶圆厂建设速度可还满意？”

看着眼前这套大型浸没式光刻机设备正在被工程技术人员非常小心地用搬运设备给转移进工厂里面，张君正心中对此那是非常开心的。

他转头满脸笑容地对旁边的尔英特集团二把手笑着问道。

“张先生，现在你们国内这边建设晶圆工厂的技术水平是非常棒的。”

帕特吉尔森格此时看了张君正和刘希轮邱梦生一眼，非常满意地说道。

刘希轮很早就是国际知名的晶圆厂建设专家，他来到国内后就一直在国内不断地建设晶圆厂，中间就没有停过，这也直接带动了国内设计建造晶圆工厂承建单位设计建造晶圆厂的全面技术水平。

去年尔英特集团同意和君正科技公司共同合资建造这座大型十二寸45纳米制程工艺新的晶圆厂项目后，这个拥有两座大型工厂的大型晶圆厂项目很快就开始动工建设，不到一年的时间便开始进入了众多半导体设备进厂安装调试的阶段。

这座大型晶圆厂项目中君正科技公司和尔英特集团各自拥有一座工厂，也让君正科技公司终于拥有了自己的一座现阶段来说最为先进制程工艺的十二寸晶圆厂，刘希轮和邱梦生对此那是极为重视的，几乎是一直在这边全程盯着。

张君正在此之前还有些担心这座晶圆厂项目免不了会被亚米利加国官府那边阻挠，不过尔英特集团方面在这中间非常努力地向亚米利加国官府那边保证这座晶圆厂只用来设计制造存储芯片，并不会用来制造cpU这些高端芯片系统，所以亚米利加国官府那边没用多少时间便对这个合资项目放行了。

当然，亚米利加国方面官府方面也只是给这个项目放行，对于华芯国际公司和国内另外几家公司都是禁止的，只允许华芯国际公司进口这种90纳米制程工艺设备，因为华芯国际公司现阶段90纳米的制程工艺技术进入了量产阶段，65纳米制程工艺处在小规模生产状态。

君正科技公司这边现阶段在芯片制造这个环节上主攻一些特种制程工艺技术，在掌握了四十八层3d堆栈式闪存芯片制程工艺技术后正在研制六十四层和九十六层硅穿孔堆栈式制程工艺技术，这个已经成为了君正微电子公司的看家本领之一。

另外君正微电子公司在背照堆栈式mccd图像传感器和硅基射频芯片以及硅基微机电数字传感器制程工艺技术上还在进行高强度研发投入，因为这些芯片产品线出货量很大，也非常赚钱。

因为张君正将自身更先进的半导体制程工艺技术路线放在了这种稳态微聚束极紫外光光刻技术路线上，并且在雁荡湖研发基地研制的这种十瓦级别的小型光源系统已经搭建成功，通过各种调整测试，这套光源系统在几个月前比较顺利地出光了。

研发团队利用这套系统不分日夜地进行各种试验测试和调整优化，最近获得了这种波长最小在六纳米，功率在十多瓦的亚飞秒超快极紫外光源！

上个月进行的这次的成功实验已经完全证明张君正几年前提出来的这种融合激光和加速器获得高强度窄带宽相干光的技术概念完全得到了证明！

这也意味着在这样的小型化实验装置系统上进行放大，可以很容易获得千瓦级可调谐且非常稳定可靠的工程商用化超快极紫外光源！

就在昨天，张君正批准了唐思德提交的这个千瓦级稳态微聚束光源系统项目的研制项目计划。

这个总投资额在百亿的项目计划不仅包括这种千瓦级稳态微聚束光源系统，同时也包括这种极紫外光物镜系统和配套的掩膜版以及光刻胶材料，用五年时间完成十纳米节点光刻机设备验证测试。