第238章 不信邪!(1 / 2)
刘希轮此时听到张君正谈起国外艾斯麦尔集团和一众德意志和亚米利加国这些技术企业共同研制的EUV光刻机设备原型机,开口说道:“尔英特集团和亚米利加国能源部共同投资的这家公司花了六年时间研制这种EUV 光刻机理论样机,不过他们都觉得研制这种光刻机设备不赚钱,将很多核心专利技术给了艾斯麦尔集团来继续研制原型机……”
他看着张君正问道:“我听说艾斯麦尔集团和德意志这家激光技术公司和亚米利加国光源系统技术公司合作研制的这种EUV 光刻机光源系统现在遇到了很大的技术难题,他们研制的这种光源系统现在能量很小,达不到光刻机设备需要的功率,而且听说他们用这种高功率激光轰击锡滴会产生爆炸,锡滴爆炸产生的离子会堵塞光学元件,他们原定于后年可以量产EUV光刻机的计划有很大的概念往后延迟。”
“我们自己研制的这种光源系统有没有可能在这几年时间里面开始成熟商用?”
刘希轮看着张君正问道。
“只能说尽全力吧。”
张君正此时搔着头苦笑道:“研制这些东西那是真的非常困难,这些子系统部件都是相互关联的,能让其中子系统工作,其他的子系统就会产生很多问题,这逼得我们要自己研发可以检测到这些子系统极为细微变化的测量技术设备。”
“截止到现在,国外这套EUV技术方案已经研发了八年了,我们自身这套技术方案到现在搞了两年时间多一点,在八年之内将工程样机系统给搞出来我就谢天谢地了。”
张君正苦笑着继续说道:“得亏我们不是靠光刻机项目活着,要不然我是真的不想给自己找这么一个如此困难的事情干。”
刘希轮此时见到张君正虽然嘴上叫苦,但是神情间却是颇为兴奋和自信的样子,他就知道这位绝顶的天才心中其实对这个项目心中是很有把握的,脸上也是露出了笑容。
“其实国外已经有一些科研人员在问这种稳态微聚束光源系统方面的事情,想知道我们是不是在自己设计研发新型光刻机设备。”
刘希轮开口说道。
“这些人是不是对我们自身研制光刻机设备非常不看好呀?”
张君正笑着问道。
刘希轮点点头,“这些国外技术专家听说这种稳态微聚束光源系统的技术方案后都是纷纷摇头,认为我们国内在二十年来完全不可能设计制造出一台代表着国际最先进水平的光刻机。”
说到这里,刘希轮顿了顿说道:“最近这位艾斯麦尔集团方面的代表跟我见面的时候也谈起了我们这种技术方案,非常‘贴心’地说君正科技公司是搞不出来这种光源系统的,劝我们不要浪费这个资源,不如用这些钱来投资这家公司,让这家公司来研制最好的光刻机设备。”
“呵呵,这家集团现在还真是倨傲得很呀!”
张君正对此倒也没有气恼,而是开口说道:“我们这边有几名技术人员之前去这家艾斯麦尔集团交流学习,当时这家公司负责接待的技术工程师就很轻蔑地说即便他们公司将全部光刻机图纸送给我们国内,我们国内也造不出光刻机设备之类的话。”
“其实康尼精机这位社长之前去魔都市这家微电子公司参观时也多少是瞧不起我们国内光刻机技术的。”
张君正眼中闪着精光说道:“我这个人就是不信这个邪,光刻机设备是人造出来的,又不是神造出来的,我就设计制造出最好的光刻机设备出来给这些看不起我们的人看看!”